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HOME 製品情報 表面処理材料 TaC(炭化タンタル)被覆黒鉛材 EVEREDKOTE®-B

TaC(炭化タンタル)被覆黒鉛材 EVEREDKOTE®-B

EVEREDKOTE®-Bは、当社独自のCVD技術にて高純度黒鉛基材に緻密なTaC(タンタルカーバイド)膜を被覆した材料です。

EVEREDKOTE®-Bの表面および断面組織写真

特長

  • 耐熱性に優れています。
  • 黒鉛粉の離脱や飛散、黒鉛基材からのガスや不純物の放出を防止できます。
  • エッチングガスに対する耐反応性に優れています。

使用用途例

  • SiC単結晶成長用部材
  • MOCVD用部材
  • 耐高温部材

特性・実験データ

一般物理特性

項目 タンタルカーバイド
かさ密度 14.5Mg/m3
融点 3985℃
硬さ 1550HK
電気抵抗率 0.15μΩ・m
熱伝導率 9-22(W/m・K)
線熱膨張率率 7.1(106/K)
※上記数値は文献値であり、保証値ではありません。
出典:H.Holleck:Material selection for hard coatings, J. Vac. Sci. Technol. A, Vol.4, No.6, Nov/Dec 1986

各種物質との反応性

反応物質 1200℃×5h 1600℃×5h
塩化水素
アンモニア
水素
酸素 ×(600℃以上)
※◎...反応なし ×...著しく反応

塩化水素反応試験:20Torr, HCl/H2=0.30/2.70 L/min(10%)
アンモニア反応試験:20Torr, NH3/H2=0.5/2.0 L/min(20%)
水素反応試験:20Torr, H2 3.0 L/min
酸素:低濃度酸化雰囲気で被覆にクラック、脆化が発生。

アンモニアガスとの反応性

放射率

タンタルカーバイド膜の不純物分析(単位:mass ppm)

元素 含有量
B < 0.01
N < 5
Na < 0.01
Mg < 0.05
Al < 0.01
Si  0.14
P <0.3
S <0.02
Cl -0.3wt%
Ca < 0.05
Ti < 0.005
V < 0.005
Cr < 0.1
Mn < 0.005
Fe  0.42
Co < 0.01
Ni 0.06
Cu <0.05
Zn < 0.05
As < 10
Nb 1.1
Mo 1.6
※1 < :検出下限未満を示す
※2 上記数値は測定例であり、保証値ではありません。