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HOME 製品情報 表面処理材料 SiCコート被覆材 PERMA-KOTE®

SiCコート被覆材 PERMA-KOTE®

High-temperature gas-cooled reactors
PERMA KOTE®は、高純度等方性黒鉛基材に、東洋炭素独自のCVD(化学的気相成長)法にて緻密な炭化ケイ素膜を被覆した製品です。

MOCVDサセプター

Special Graphite

リフレクター(シリコン単結晶引き上げ装置用)

Special Graphite

パンケーキ型サセプター

パンケーキ型サセプター

バレル型サセプター

バレル型サセプター

特長

  • 耐酸化性、耐食性、耐薬品性に優れた炭化ケイ素膜です。
  • 高温で安定、非常に硬い炭化ケイ素膜です。
  • 黒鉛粉の離脱や飛散、黒鉛基材からのガスや不純物の放出を防止できます。
  • 黒鉛基材、炭化ケイ素膜ともに高純度です。
  • 黒鉛基材、炭化ケイ素ともに熱伝導が高く、均熱性に優れています。
  • クラックや剥離を起こさない材料設計です。

使用用途例

  • シリコンエピタキシャル成長用サセプター
  • シリコン単結晶引き上げ装置部品
  • MOCVD用サセプター
  • ヒーター
  • 均熱板
  • 耐酸化性部材

被膜厚さ

PERMA KOTE®の表面SEM写真

被膜厚さ
標準は120μmですが、20~500μmの範囲で調整が可能です。

特性・実験データ

耐食性

品名 化学式 濃度(%)  温度(℃) 時間(h)  質量変化(g/㎡)
フッ化水素酸 HF 47 80 144 -1.0
フッ化水素酸 HCl 36 沸点 144 0
塩酸 H2SO4 97 110 144 0
硝酸 HNO3 61 沸点 144 0
フッ化水素酸+硝酸 HF+HNO3 (1:1) 100 80 288 -1.0
硝酸+硫酸 HNO3+H2SO4 (1:1) 100 25 288 -1.0
水酸化ナトリウム NaOH 20 80 288 0
リン酸 H3PO4 100 100 192 -1.0
王水 HCl+HNO3 (3:1) 100 80 192 0

各物質との反応性(真空下)

反応物質 化学式 1200℃×3h 1600℃×3h
アルミニウム Al
ホウ素 B
コバルト Co ×
クロム Cr ×
Cu
Fe × ×
モリブデン Mo
ニッケル Ni ×
Pb ×
ケイ素 Si
スズ Sn
タンタル Ta
チタン Ti
バナジウム V ×
タングステン W
酸化アルミニウム Al2O3 ×
酸化ホウ素 B2O3
酸化クロム(Ⅲ) Cr2O3 ×
酸化鉄(Ⅲ) Fe2O3 × ×
酸化マグネシウム MgO
酸化マンガン(Ⅳ) MnO2 ×
酸化鉛(Ⅱ) PbO
二酸化ケイ素 SiO2
酸化チタン(Ⅳ) TiO2
酸化バナジウム(Ⅴ) V2O5
酸化ジルコニウム(Ⅳ) ZrO2

※ ◎...反応なし ○...わずかに反応した
  △...反応した ×...著しく反応

被膜の性質

結晶構造
β-SiC(立方晶系)の構造
β-SiC(立方晶系)の構造
かさ密度 3.2 Mg/m3
分解温度 2700 ℃以上
硬さ 2800HK
電気抵抗率 0.2Ω・m(電圧降下法による)
曲げ強さ 170 MPa(3点曲げによる)
ヤング率 320 GPa(たわみ法による)

被膜の不純物分析例 単位: mass ppm

元素 含有量
B 0.15
Na 0.02
Al 0.01
Cr < 0.1
Fe 0.02
Ni < 0.01

※測定法:グロー放電質量分析
※上記は測定例であり、保証値ではありません。
具体的な使用法にあたってはカタログをご参照頂き、弊社営業部門に必ず相談のうえ、適材を決めて御使用下さい。