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HOME 製品情報 表面処理材料 熱分解炭素被覆材 PYROGRAPH™

熱分解炭素被覆材 PYROGRAPH®

断面偏光顕微鏡写真
断面偏光顕微鏡写真
PYROGRAPH®は、高純度等方性黒鉛基材に、東洋炭素独自のCVD(化学的気相成長)法により、熱分解炭素を被覆した製品です。

特長

  • 熱分解炭素は、きわめて緻密です。
  • 純高純度です。
  • 被覆膜により、ガス透過率がきわめて低くなります。
  • ガスに対する耐食性に優れています。
  • 耐酸化性に優れています。
  • 耐熱性に優れています。
  • 黒鉛粉の離脱や飛散、黒鉛基材からのガスや不純物の放出を防止できます。

使用用途・製品

  • 原子吸光キュペット
  • シリコン単結晶引上げ装置部品
  • 有機EL製造装置部品

特性・実験データ

不純物分析例

不純物分析例
※測定方法:グロー放電質量分析
※上記は測定例であり、保証値ではありません。

一般物理特性

一般物理特性
※熱膨張係数の温度範囲はRT~1000℃です。
※上記数値は文献値であり、保証値ではありません。

ガス透過率

ガス透過率
参考文献:炭素材化学会編「炭素材料入門」PP137

放射率

放射率