กราไฟท์เคลือบ SiC PERMA KOTE™

PERMA KOTE™ เป็นผลิตภัณฑ์ที่สร้างขึ้นโดยการเคลือบพื้นผิวของ Isotropic Graphite ที่มีความบริสุทธิ์สูงด้วยชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ละเอียดโดยใช้กระบวนการของ Toyo Tanso Chemical Vapor Deposition (CVD) ที่เป็นเอกสิทธิ์

ซัสเซปเตอร์ MOCVD

แผ่นสะท้อนแสง (อุปกรณ์การผลิต
ซิลิคอนผลึกเดี่ยว)

ตัวดูดพลังงานแม่เหล็กไฟฟ้าแบบแพนเค้ก

ซัสเซปเตอร์แบบบาร์เรล

คุณลักษณะ

ชั้นของซิลิคอนคาร์ไบด์มีความทนทานต่อการออกซิเดชัน, ทนทานต่อการกัดกร่อนและทนทานต่อสารเคมีเป็นเลิศ
ชั้นของซิลิคอนคาร์ไบด์มีความเสถียรที่อุณหภูมิสูงและแข็งมากๆ
ป้องกันไม่ให้อนุภาคกราไฟท์แยกและแตกเป็นเสี่ยง อีกทั้งป้องกันการปล่อยก๊าซและสารปนเปื้อนจากพื้นผิวกราไฟท์ด้วย
ทั้งพื้นผิวกราไฟท์และชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์มีความบริสุทธิ์สูง
ทั้งพื้นผิวกราไฟท์และชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์มีความสามารถในการนำความร้อนสูงและมีคุณสมบัติการกระจายความร้อนที่ดีเลิศ
วัสดุถูกออกแบบมาเพื่อไม่ให้เกิดรอยแตกและแยกเป็นชั้นๆ

การใช้งาน

ซัสเซปเตอร์การปลูกผลึกแบบเอพิแทกเชียลสำหรับซิลิคอน
อุปกรณ์การผลิตซิลิคอนผลึกเดี่ยว
ซัสเซปเตอร์ MOCVD
ตัวทำความร้อน
ตัวกระจายความร้อน
ส่วนประกอบมีความทนทานต่อการออกซิเดชัน

ความหนาในการเคลือบ

ความหนามาตรฐานเท่ากับ 120 μm อย่างไรก็ตาม ค่านี้สามารถเปลี่ยนแปลงได้ในช่วง 20 ถึง 500 μm

คุณสมบัติ/ข้อมูลการทดสอบ

ความทนทานต่อการกัดกร่อน

ชื่อ	สูตรเคมี	ความเข้มข้น (%)	อุณหภูมิ (°C)	เวลา (h)	การเปลี่ยนแปลงมวล (g/m2)
กรดไฮโดรฟลูออริก	HF	47	80	144	-1.0
กรดไฮโดรคลอริก	HCl	36	จุดเดือด	144	0
กรดกำมะถัน	H₂SO₄	97	110	144	0
กรดไนตริก	HNO₃	61	จุดเดือด	144	0
กรดไฮโดรฟลูออริก+กรดไนตริก	HF+HNO₃ (1:1)	100	80	288	-1.0
กรดไนตริก+กรดกำมะถัน	HNO₃+H₂SO₄ (1:1)	100	25	288	-1.0
โซเดียมไฮดรอกไซด์	NaOH	20	80	288	0
กรดฟอสฟอริก	H₃PO₄	100	100	192	-1.0
กรดไนโตรไฮโดรคลอริก	HCl+HNO₃ (3:1)	100	80	192	0

ปฏิกิริยากับสสารต่างๆ (ในสุญญากาศ)

สารทำปฏิกิริยา	สูตรเคมี	1200 °C×3h	1600 °C×3h
อะลูมิเนียม	Al	○	△
โบรอน	B	◎	◎
โคบอลต์	Co	△	×
โครเมียม	Cr	△	×
ทองแดง	Cu	○	△
เหล็ก	Fe	×	×
โมลิบดีนัม	Mo	◎	○
นิกเกิล	Ni	◎	×
ตะกั่ว	Pb	△	×
ซิลิคอน	Si	◎	○
ดีบุก	Sn	◎	△
แทนทาลัม	Ta	◎	◎
ไทเทเนียม	Ti	◎	○
วานาเดียม	V	◎	×
ทังสเตน	W	◎	○
อะลูมินา	Al₂O₃	◎	×
โบรอนออกไซด์	B₂O₃	◎	◎
โครเมียมออกไซด์ (III)	Cr₂O₃	◎	×
เหล็กออกไซด์ (III)	Fe₂O₃	×	×
แมกนีเซียมออกไซด์	MgO	◎	△
แมงกานีสออกไซด์ (IV)	MnO₂	◎	×
ออกไซด์ของตะกั่ว (II)	PbO	○	△
ซิลิคอนไดออกไซด์	SiO₂	◎	△
ไทเทเนียมออกไซด์ (IV)	TiO₂	◎	○
วานาเดียมออกไซด์ (V)	V₂O₅	◎	△
เซอร์โคเนียมออกไซด์ (IV)	ZrO₂	◎	○

◎...ไม่มีปฏิกิริยา ○...มีปฏิกิริยาเล็กน้อย
△...เกิดปฏิกิริยา ×...เกิดปฏิกิริยาอย่างเห็นได้ชัด

คุณสมบัติของชั้น

โครงสร้างผลึก	โครงสร้าง ß-SiC (ระบบคิวบิก)
ความหนาแน่นรวม	3.2 Mg/m³
อุณหภูมิการสลายตัว	2700 °C หรือสูงกว่านั้น
ความแข็ง	2800HK
ความต้านทานไฟฟ้า	0.2 Ω·m (ผ่านวิธีการ Fall of Potential)
แรงดัดงอ	170 MPa (ผ่านการดัด 3 จุด)
Young's Modulus	320 GPa (ผ่านวิธีการ deﬂection)

ตัวอย่างการวิเคราะห์สิ่งเจือปน มวล ppm

องค์ประกอบ	ปริมาณ
B	0.15
Na	0.02
Al	0.01
Cr	< 0.1
Fe	0.02
Ni	< 0.01

* วิธีการวัด: Glow Discharge Mass Spectrometry
* ภาพด้านบนเป็นเพียงตัวอย่างการวัดและไม่ได้รับประกันความถูกต้อง
ก่อนใช้ผลิตภัณฑ์ของเราจริง โปรดดูแคตตาล็อกของเราและโปรดติดต่อฝ่ายขายของเราเพื่อปรึกษาในการเลือกเกรดที่เหมาะสมที่สุด