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特性
- 熱解碳塗層非常細密
- 純度超高
- 塗層可確保透氣性極低
- 抗氣體耐蝕性卓越
- 低溫抗氧性佳
- 耐熱性卓越
- 防止石墨顆粒分離和分散、石墨釋放氣體、石墨基底出現雜質
應用、產品
- 單晶矽製造設備
- 用於原子吸收光譜儀中的管子
- OLED 製造設備
特性/測試資料
雜質分析範例
* 測量方法：輝光放電質譜法
* 以上圖表僅為測量範例，無法保證必定能得到如此的結果。
一般物理特性
* 熱膨脹係數的溫度範圍是室溫至 1,000℃。
* 以上圖表摘自其他出版物，無法保證必定能得到如此的結果。
透氣性
參考資料：日本碳素材料學會出版的「碳素材料入門」第 137 頁
放射率 (輻射係數)
