Graphite avec revêtement TaC EVEREDKOTE™-B

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EVEREDKOTE™-B est un matériau créé en appliquant sur la surface d'un substrat graphite hautement purifié un revêtement formé de couche de TaC (carbure de tantale) à l'aide du processus de déposition chimique en phase vapeur (Chemical Vapor Deposition, CVD) propriété de Toyo Tanso.

EVEREDKOTE™-B Surface et image en coupe SEM

Propriétés

Excellente résistance à la chaleur
Évite la séparation et la dispersion des particules de graphites, ainsi que les émissions de gaz et des impuretés depuis le substrat graphite.
Excellente résistance aux réactions d'attaques gazeuses.

Application

Composants pour croissance de SiC monocristallin
Composants pour MOCVD
Composants à hautes températures

Propriétés/Données du test

Propriétés physiques générales

Élément	Carbure de tantale
Densité de masse	14,5 mg/m³
Point de fusion	3985 ℃
Dureté	1550 HK
Résistivité électrique	0,15 Ω·m
Conductivité thermique	9 à 22 (W/m·K)
Coefficient d'expansion thermique	7,1 (10⁶/K)

* Les valeurs numériques ci-dessus sont celles tirées de la source ci-dessous et ne sont pas des valeurs garanties.
Source : H. Holleck : « Material selection for hard coatings » (Sélection de matériaux pour les revêtements rigides), J. Vac. Sci. Technol. A, Vol.4, No.6, Nov/Déc 1986

Réactivité avec différentes substances

Substance réactive	1 200 °C x 5h	1 600 °C x 5h
Chlorure d'hydrogène	◎	◎
Ammoniac	◎	◎
Hydrogène	◎	◎
Oxygène	× (600°C ou plus)

*◎: Aucune réaction, × : Réaction signicative

Test de réaction au chlorure d'hydrogène : 20 Torr, HCl/H2 = 0,30/2,70 L/min (10 %)
Test de réaction à l'ammoniac : 20 Torr, NH3/H2 = 0,5/2,0 L/min (20 %)
Test de réaction à l'hydrogène : 20 Torr, H2 3,0 L/min
Oxygène : Craquelage et fragilisation du revêtement en atmosphère oxydante à faible concentration.

Réactivité avec l’ammonium

Emissivité

Exemple d’analyse d’impureté masse ppm

Elément	Contenu
B	< 0,01
N	< 5
Na	< 0,01
Mg	< 0,05
Al	< 0,01
Si	0,14
P	<0,3
S	<0,02
Cl	-0,3 % en poids
Ca	< 0,05
Ti	< 0,005
V	< 0,005
Cr	<0,1
Mn	< 0,005
Fe	0,42
Co	< 0,01
Ni	0,06
Cu	<0,05
Zn	< 0,05
As	<10
Nb	1,1
Mo	1,6

*1 < : limite de détection
*2 Les chiffres ci-dessus sont des exemples de mesure et ne sont pas garantis.