TaC 코팅 흑연 EVEREDKOTE™-B

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EVEREDKOTE™-B는 고순도 흑연 기판에 토요탄소의 독자적인 CVD(화학적기상성장) 방법으로 치밀한 TaC(탄화탈탄)막을 피복한 소재입니다.

EVEREDKOTE™-B의 표면과 SEM의 단면 이미지

특징

뛰어난 내열성
흑연분말의 이탈과 비산 흑연기재의 가스와 불순물의 방출을 방지할 수 있습니다.
에칭 가스 반응에 대한 뛰어난 저항성

용도

단일 결정 SiC 성장용 부품
MOCVD용 부품
고온 부품

특성・실험데이터

일반물리특성

항목	탄화탈탄
부피밀도	14.5 Mg/m³
융점	3985°C
경도	1550HK
전기저항률	0.15 μΩ・m
열전도율	9-22(W/m・K)
선열팽창률	7.1(10⁶/K)

* 상기 수치는 아래의 출처에서 나온 것으로 보증된 수치가 아닙니다.
출처: H. Holleck: Material selection for hard coatings(경질 코팅용 소재 선택), J. Vac. Sci. Technol. A, Vol.4, No.6, Nov/Dec 1986

각종 물질과의 반응성

반응 물질	1200°C x 5h	1600°C x 5h
염화수소	◎	◎
암모니아	◎	◎
수소	◎	◎
산소	× (600°C 이상)

*◎: 반응 없음 ×: 현저하게 반응

염화수소 반응 시험: 20 Torr, HCl/H2 = 0.30/2.70 L/min (10%)
암모니아 반응 시험: 20 Torr, NH3/H2 = 0.5/2.0 L/min (20%)
수소 반응 시험: 20 Torr, H2 3.0 L/min
산소: 저농도 산화 대기에서 코팅의 균열 및 약화

암모늄과의 반응성

방사율

불순물 분석 예 질량 ppm

원소	함유량
B	< 0.01
N	< 5
Na	< 0.01
Mg	< 0.05
Al	< 0.01
Si	0.14
P	< 0.3
S	< 0.02
Cl	-0.3 wt%
Ca	< 0.05
Ti	< 0.005
V	< 0.005
Cr	< 0.1
Mn	< 0.005
Fe	0.42
Co	< 0.01
Ni	0.06
Cu	< 0.05
Zn	< 0.05
As	< 10
Nb	1.1
Mo	1.6

*1 < :Detection limit
*2 상기는 측정 예로서 보증치는 아닙니다.