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특징
- 열분해탄소 피막은 극히 치밀합니다.
- 초고순도입니다.
- 피복막에 의해 가스 투과율이 극히 낮습니다.
- 가스에 대한 내식성이 뛰어납니다.
- 내산화성이 뛰어납니다.
- 내열성이 뛰어납니다.
- 흑연가루의 이탈과 비산 흑연기재의 가스와 불순물의 방출을 방지할 수 있습니다.
응용 분야・제품
- 실리콘 단결정 제조장비
- 실리콘 단결정 성장장비 부품
- 유기EL제조장비 부품
특성・실험데이터
불순물 분석 예
* 측정법: Glow 방전질량분석
* 상기는 측정 예로서 보증치는 아닙니다.
일반물리특성
* 선열팽창률의 온도범위는 RT~1000°C입니다.
* 상기 수치는 문헌치로서 보증치는 아닙니다.
가스투과율
출처: 일본 탄소재료학회 "Introduction to Carbon Materials(탄소 소재의 소개)" 137p.
방사율
