กราไฟท์เคลือบ TaC EVEREDKOTE™-B

EVEREDKOTE™-B เป็นวัสดุที่สร้างขึ้นโดยการเคลือบพื้นผิวของสารตั้งต้นกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงด้วยชั้น TaC (แทนทาลัมคาร์ไบด์) ที่ละเอียดโดยกระบวนการที่เป็นกรรมสิทธิ์ของ Toyo Tanso Chemical Vapor Deposition (CVD)

ภาพตัดขวางของ EVEREDKOTE™-B

คุณสมบัติ

・ทนความร้อนได้ดีเยี่ยม
・ป้องกันการแยกและกระจัดกระจายของผงกราไฟท์รวมถึงการปล่อยก๊าซและสิ่งสกปรกออกจากพื้นผิวกราไฟท์
・ทนต่อปฏิกิริยากับก๊าซกัดได้ดีเยี่ยม

การใช้งาน

・ส่วนประกอบสำหรับการปลูกผลึก SiC ผลึกเดี่ยว
・ส่วนประกอบสำหรับ MOCVD
・ส่วนประกอบที่มีอุณหภูมิสูง

คุณสมบัติ/ข้อมูลการทดสอบ

คุณสมบัติทางกายภาพทั่วไป

รายการ	แทนทาลัมคาร์ไบด์
ความหนาแน่นรวม	14.5 Mg/m³
จุดหลอมเหลว	3985 °C
ความแข็ง	1550HK
ความต้านทานไฟฟ้า	0.15 μΩ·m
การนำความร้อน	9-22 (W/m·K)
ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน	7.1 (10⁶/K)

* ค่าตัวเลขข้างต้นเป็นค่าที่นำมาจากแหล่งข้อมูลด้านล่างนี้และไม่มีการรับประกันความถูกต้อง
ที่มา: H. Holleck: การเลือกวัสดุสำาหรับการเคลือบแข็ง J. Vac. Sci. Technol. A, Vol.4, No.6, พ.ย./ธ.ค. 1986

การเกิดปฏิกิริยากับสารต่างๆ

สารที่ไวต่อการทำปฏิกิริยา	1200 °C×5h	1600 °C×5h
ไฮโดรเจนคลอไรด์	◎	◎
แอมโมเนีย	◎	◎
ไฮโดรเจน	◎	◎
ออกซิเจน	× (600 °C ขึ้นไป)

*◎: ไม่มีปฏิกิริยา, ×: ปฏิกิริยาที่สำคัญ

การทดสอบปฏิกิริยาไฮโดรเจนคลอไรด์: 20 Torr, HCl/H2 = 0.30/2.70 L/min (10%)
การทดสอบปฏิกิริยาแอมโมเนีย: 20 Torr, NH3/H2 = 0.5/2.0 L/min (20%)
การทดสอบปฏิกิริยาไฮโดรเจน: 20 Torr, H2 3.0 L/min
ออกซิเจน: การแตกและเปราะของสารเคลือบในบรรยากาศที่ออกซิไดซ์ความเข้มข้นต่ำ

ปฏิกิริยากับแอมโมเนียม

การแผ่รังสี

ตัวอย่างการวิเคราะห์สิ่งเจือปน มวล ppm

องค์ประกอบ	ปริมาณ
B	< 0.01
N	< 5
Na	< 0.01
Mg	< 0.05
Al	< 0.01
Si	0.14
P	< 0.3
S	< 0.02
CI	-0.3wt%
Ca	< 0.05
Ti	< 0.005
V	< 0.005
Cr	< 0.1
Mn	< 0.005
Fe	0.42
Co	< 0.01
Ni	0.06
Cu	< 0.05
Zn	< 0.05
As	< 10
Nb	1.1
Mo	1.6

*1 < :ขีดจำกัดการตรวจจับ
*2 ภาพด้านบนเป็นเพียงตัวอย่างการวัดและไม่ได้รับประกันความถูกต้อง