- GlobalNetwork
-
- Global Site
- Americas
-
- United States
Grafit berlapis SiC PERMA KOTE™
PERMA KOTE™ adalah produk yang dibuat dengan melapisi permukaan grafit isotropik yang sangat murni dengan lapisan silikon karbida yang halus melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) milik Toyo Tanso.
Susceptor MOCVD
Reflektor (Peralatan manufaktur
silikon kristal tunggal)
Susceptor pancake
Suseptor barel
Karakteristik
- Lapisan silikon karbida memiliki resistensi oksidasi, resistensi korosi dan resistensi kimia yang sangat bagus.
- Lapisan silikon karbida bersifat stabil pada suhu yang tinggi dan sangat keras.
- Mencegah pelepasan dan penyebaran partikel grafit, dan emisi gas dan cemaran dari substrat grafit.
- Baik substrat grafitt maupun lapisan silikon karbida sama-sama memiliki kemurnian yang tinggi.
- Baik substrat grafitt maupun lapisan silikon karbida sama-sama memiliki konduktivitas panas yang tinggi, dan sifat penyebar panas yang sangat bagus.
- Bahan ini dirancang agar tidak terjadi retakan dan pengelupasan.
Aplikasi
- Suseptor untuk pertumbuhan epitaksial silikon
- Perlengkapan manufaktur silikon kristal tunggal
- Susceptor MOCVD
- Pemanas
- Penyebar panas
- Komponen-komponen anti-oksidasi
Ketebalan Pelapisan
Standar ketebalannya adalah 120 μm; Namun bisa dimodifikasi dalam rentang 20 hiingga 500 μm.
Properti/Data Uji
Resistensi Korosi
| Nama | Rumus Kimia | Konsentrasi (%) | Suhu (°C) | Waktu (jam) | Perubahan dalam massa (g/m2) |
|---|---|---|---|---|---|
| Asam hidroflorik | HF | 47 | 80 | 144 | -1,0 |
| Asam hidroklorik | HCl | 36 | Titik didih | 144 | 0 |
| Asam sulfur | H2SO4 | 97 | 110 | 144 | 0 |
| Asam nitrat | HNO3 | 61 | Titik didih | 144 | 0 |
| Asam hidroflorik + asam nitrat | HF+HNO3 (1:1) | 100 | 80 | 288 | -1,0 |
| Asam nitrat + asam belerang | HNO3+H2SO4 (1:1) | 100 | 25 | 288 | -1,0 |
| Natrium hidroksida | NaOH | 20 | 80 | 288 | 0 |
| Asam posforik | H3PO4 | 100 | 100 | 192 | -1,0 |
| Asam nitrohidroklorik | HCl+HNO3 (3:1) | 100 | 80 | 192 | 0 |
Reaktivitas dengan berbagai zat (dalam ruang hampa)
| Reaktan | Rumus Kimia | 1200 °C×3h | 1600 °C×3h |
|---|---|---|---|
| Aluminium | Al | ○ | △ |
| Boron | B | ◎ | ◎ |
| Kobal | Co | △ | × |
| Kromium | Cr | △ | × |
| Tembaga | Cu | ○ | △ |
| Besi | Fe | × | × |
| Molibdenum | Mo | ◎ | ○ |
| Nikel | Ni | ◎ | × |
| Timah Hitam | Pb | △ | × |
| Silikon | Si | ◎ | ○ |
| Timah Putih | Sn | ◎ | △ |
| Tantalum | Ta | ◎ | ◎ |
| Titanium | Ti | ◎ | ○ |
| Vanadium | V | ◎ | × |
| Tungsten | W | ◎ | ○ |
| Alumina | Al2O3 | ◎ | × |
| Boron oksida | B2O3 | ◎ | ◎ |
| Kromium oksida (Ⅲ) | Cr2O3 | ◎ | × |
| Besi oksida (Ⅲ) | Fe2O3 | × | × |
| Magneisum oksida | MgO | ◎ | △ |
| Mangan oksida (Ⅳ) | MnO2 | ◎ | × |
| Timbel oksida (Ⅱ) | PbO | ○ | △ |
| Silikon oksida | SiO2 | ◎ | △ |
| Titanium oksida (Ⅳ) | TiO2 | ◎ | ○ |
| Vanadium oksida (Ⅴ) | V2O5 | ◎ | △ |
| Zirkonium oksida (Ⅳ) | ZrO2 | ◎ | ○ |
◎...Tidak ada reaksi ○...Sedikit reaksi
△...Reaksi ×...Reaksi signifikan
Properti Lapisan
| Struktur kristal |
Struktur ß-SiC (Sistem kubik)
|
|---|---|
| Kerapatan curah | 3,2 Mg/m3 |
| Suhu Dekomposisi | 2700 °C atau lebih tinggi |
| Kekerasan | 2800HK |
| Resistivitas Listrik | 0.2 Ω·m (melalui metode potensial jatuh) |
| Daya Lenturan | 170 MPa (melalui pembengkokan 3-titik) |
| Modulus Young | 320 GPa (melalui metode defleksi) |
Massa contoh analisis impuritas ppm
| Unsur | Isi |
|---|---|
| B | 0,15 |
| Na | 0,02 |
| Al | 0,01 |
| Cr | < 0,1 |
| Fe | 0,02 |
| Ni | < 0,01 |
* Metode pengukuran: Spektrometri Massa Pelepasan Pijar
* Gambar di atas adalah contoh pengukuran dan tidak untuk dijamin.
Sebelum benar-benar menggunakan salah satu produk kami, silakan merujuk ke katalog kami dan pastikan untuk menghubungi departemen penjualan kami untuk berkonsultasi untuk memilih grade yang paling sesuai.