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HOME Products Surfece Treatment SiC coated graphite PERMA KOTE™

SiC coated graphite PERMA KOTE™

High-temperature gas-cooled reactors
Al realizar un tratamiento de superficie o al combinar con diferentes materiales, podemos agregar valor a los sustratos de grafito, por ejemplo, al aumentar el desgaste y la corrosión y al impartir propiedades de prevención de polvo.

MOCVD Susceptor
 

Special Graphite

Reflector(Single crystal silicon
manufacturing equipment)

Special Graphite

Pancake susceptor

Pancake susceptor

Barrel susceptor

Barrel susceptor

Characteristics

  • La capa de carburo de silicio tiene excelente resistencia a la oxidación, resistencia a la corrosión y resistencia química.
  • La capa de carburo de silicio es estable a altas temperaturas y es extremadamente duro.
  • Evita la separación y dispersión de partículas de grafito, y la emisión de gas e impurezas del sustrato de grafito.
  • Tanto el sustrato de grafito y la capa de carburo de silicio son de alta pureza.
  • Tanto el sustrato de grafito como la capa de carburo de silicio tienen una alta conductividad térmica y excelentes propiedades de distribución de calor.
  • El material está diseñado de manera que no se produzcan grietas y deslaminación.

Aplicación

  • Susceptores de crecimiento epitaxial de silicio
  • Equipos de fabricación de silicio monocristalino
  • Susceptores MOCVD
  • Calentadores
  • Difusores de calor
  • Componentes con resistencia a la oxidación
Pancake susceptor Barrel susceptor

PERMA KOTE™ Propiedades de las capas

Estructura de cristal
β-SiC (Cubic system) Structure
β-SiC(Cubic system) Structure
Densidad aparente 3.2 Mg/m3
Decomposition Temperature 2700℃ or higher
Dureza 2800HK
Resistividad eléctrica 0.2 Ω・m (a través del método de caída de potencial)
Fuerza flexional 170 MPa (a través de 3 puntos de flexión)
Módulo de Young 320 GPa (a través del método de deflexión)

* Las cifras anteriores son extraídas de otras publicaciones o son ejemplos de las mediciones y no están garantizadas.

Coating Thickness

SEM Photograph of PERMA KOTE™ Surface

Coating Thickness
El espesor estándar es de 120 μm; sin embargo, esto se puede modificar dentro de un rango de 20 a 500 μm.

Resistencia a la corrosión

Nombre Fórmula química Concentración (%) Temperatura（℃) Hora（h） Cambio en la masa（g/m2）
Ácido fluorhídrico HF 47 80 144 -1.0
Ácido clorhídrico HCｌ 36 Punto de ebullición 144 0
Ácido sulfúrico H2SO4 97 110 144 0
Ácido nítrico HNO3 61 Punto de ebullición 144 0
Ácido fluorhídrico +ácido nítrico HF+HNO3 (1:1） 100 80 288 -1.0
Ácido nítrico + ácido sulfúrico HNO3+H2SO4　(1:1） 100 25 288 -1.0
Hidróxido de sodio NaOH 20 80 288 0
Ácido fosfórico H3PO4 100 100 192 -1.0
Ácido nitrohydrochloric HCｌ+HNO3 (3:1) 100 80 192 0

Reactivity with various substances (in a vacuum)

Reactivo Fórmula química 1200℃×3h 1600℃×3h
Aluminio Al ○ △
Boro B ◎ ◎
Cobalto Co △ ×
Cromo Cr △ ×
Cobre Cu ○ △
Hierro Fe × ×
Molibdeno Mo ◎ ○
Níquel Ni ◎ ×
Plomo Pb △ ×
Silicio Si ◎ ○
Estaño Sn ◎ △
Tantalum Ta ◎ ◎
Tantalio Ti ◎ ○
Vanadio V ◎ ×
Tungsteno W ◎ ○
Tungsteno Al2O3 ◎ ×
Óxido de boro B2O3 ◎ ◎
Óxido de cromo (III) Cr2O3 ◎ ×
Óxido de hierro (III) Fe2O3 × ×
Óxido de magnesio MgO ◎ △
Óxido de manganeso (IV) MnO2 ◎ ×
Óxido de plomo (II) PbO ○ △
Dióxido de silicio SiO2 ◎ △
Óxido de titanio (IV) TiO2 ◎ ○
Óxido de vanadio (V) V2O5 ◎ △
Óxido de circonio (IV) ZrO2 ◎ ○

◎...Sín reacción ○...Reacción suave
△...Reacción ×...Reacción significativa

Ejemplo del análisis de impurezas example mass ppm

Elemento Contenido
B 0.15
Na 0.02
Al 0.01
Cr < 0.1
Fe 0.02
Ni < 0.01

*Método de medición: Espectrometría de masa de descarga luminiscente
*Las cifras anteriores son ejemplos de medición y no están garantizadas.