Grafit berlapis-TaC EVEREDKOTE™-B

EVEREDKOTE™-B adalah bahan yang dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit yang sangat murni menggunakan lapisan halus TaC (tantalum karbida) melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) Toyo Tanso.

Gambar penampang melintang SEM dan Permukaan EVEREDKOTE™-B

Fitur-fitur

・Resistensi panas yang unggul
・Mencegah pemisahan dan hamburan serbuk grafit, serta pelepasan gas dan takmurnian substrat grafit
・Resistensi yang unggul terhadap reaksi dengan gas etsa

Aplikasi

・Komponen untuk pertumbuhan SiC kristal tunggal
・Komponen untuk MOCVD
・Komponen suhu tinggi

Properti/Data Uji

Properti Fisik Umum

Barang	Tantalum Karbida
Kerapatan Curah	14,5 Mg/m³
Titik Leleh	3985 °C
Kekerasan	1550HK
Resistivitas Listrik	0,15 μΩ·m
Konduktivitas Panas	9-22 (W/m·K)
Koefisien Muai Panas	7,1 (10⁶/K)

* Nilai numerik di atas diperoleh dari sumber di bawah ini dan bukan nilai pasti.
Sumber: H. Holleck: Material selection for hard coatings (Pemilihan bahan untuk pelapis keras), J. Vac. Sci. Technol. A, Vol.4, No.6, Nov/Des 1986

Reaktivitas dengan Berbagai Substansi

Zat Reaktif	1200 °C×5h	1600 °C×5h
Hidrogen Klorida	◎	◎
Amonia	◎	◎
Hidrogen	◎	◎
Oksigen	× (600 °C atau lebih)

*◎:Tidak ada reaksi ×:Reaksi signifikan

Uji reaksi hidrogen klorida: 20 Torr, HCl/H2 = 0,30/2,70 L/min (10%)
Uji reaksi amonia: 20 Torr, NH3/H2 = 0,5/2,0 L/min (20%)
Uji reaksi hidrogen: 20 Torr, H2 3,0 L/min
Oksigen: Retak dan penggetasan lapisan dalam atmosfer teroksidasi dengan konsentrasi rendah.

Reaktivitas dengan amonium

Emisivitas

Massa contoh analisis impuritas ppm

Unsur	Isi
B	< 0,01
N	< 5
Na	< 0,01
Mg	< 0,05
Al	< 0,01
Si	0,14
P	< 0,3
S	< 0,02
Cl	-0.3wt%
Ca	< 0,05
Ti	< 0,005
V	< 0,005
Cr	< 0,1
Mn	< 0,005
Fe	0,42
Co	< 0,01
Ni	0,06
Cu	< 0,05
Zn	< 0,05
As	< 10
Nb	1,1
Mo	1,6

*1 < :Batas deteksi
*2 Angka di atas adalah contoh pengukuran dan tidak untuk dijamin.