Grafite con rivestimento TaC EVEREDKOTE™

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EVEREDKOTE™-B è un prodotto creato rivestendo la superficie di un substrato di grafite altamente purificata con uno strato sottile di TaC (carburo di tantalio) mediante un processo brevettato da Toyo Tanso di deposizione chimica da vapore (CVD).

Immagine sezione SEM e superficie EVEREDKOTE™-B

Caratteristiche

Resistenza al calore eccellente
Impedisce la separazione e la dispersione di polveri di grafite, nonché il rilascio di gas e di impurità dal substrato di grafite.
Eccellente resistenza alle reazioni con i gas d’incisione

Applicazione

Componenti per la crescita di SiC a cristallo singolo
Componenti per MOCVD
Componenti ad alta temperatura

Proprietà/dati dei test

Proprietà fisiche generali

Articolo	Carburo di tantalio
Densità apparente	14,5 Mg/m³
Punto di fusione	3.985 °C
Durezza	1550 HK
Resistività elettrica	0,15 μΩ·m
Conduttività termica	Da 9 a 22 (W/m·K)
Coefficiente di espansione termica	7,1 (10⁶/K)

* I valori numerici di cui sopra sono stati reperiti dalla fonte sottostante e non sono garantiti.
Fonte: H. Holleck: Material selection for hard coatings (Selezione dei materiali per rivestimenti duri), J. Vac. Sci. Technol. A, Vol. 4, N° 6, nov/dic 1986

Reattività con varie sostanze

Sostanza reattiva	1.200 °C x 5 h	1.600 °C x 5 h
Cloruro di idrogeno	◎	◎
Ammoniaca	◎	◎
Idrogeno	◎	◎
Ossigeno	× (600 °C o più)

*◎ : Nessuna reazione, ×: Reazione signicativa

Test di reazione al cloruro di idrogeno: 20 Torr, HCl/H2 = 0,30/2,70 L/min (10%)
Test di reazione dell’ammoniaca: 20 Torr, NH3/H2 = 0,5/2,0 L/min (20%)
Test di reazione all’idrogeno: 20 Torr, H2 3,0 L/min
Ossigeno: fessurazione e infragilimento del rivestimento in atmosfera ossidata a bassa concentrazione.

Reattività con l'ammonio

Emissività

Esempio di analisi delle impurità massa ppm

Elemento	Contenuto
B	< 0,01
N	< 5
Na	< 0,01
Mg	< 0,05
Al	< 0,01
Si	0,14
P	< 0,3
S	< 0,02
Cl	-0,3 wt%
Ca	< 0,05
Ti	< 0,005
V	< 0,005
Cr	< 0,1
Mn	< 0,005
Fe	0,42
Co	< 0,01
Ni	0,06
Cu	< 0,05
Zn	< 0,05
As	< 10
Nb	1,1
Mo	1,6

*1 <:Limite di rilevamento
*2 Le cifre precedenti sono esempi di misurazione e non possono essere garantite.