TaC-coated Graphite EVEREDKOTE™-B

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EVEREDKOTE™-B es un material creado al recubrir la supercie de un sustrato de grato altamente puricado con una na capa de TaC (carburo de tantalio) por medio de un proceso patentado de deposición de vapor químico (CVD) patentado por Toyo Tanso.

Características
- Excelente resistencia al calor.
- Evita la separación y dispersión del polvo de grato, así como la liberación de gases e impurezas del sustrato de grato.
- Excelente resistencia a las reacciones con gases decapantes.

Aplicación

Componentes para el crecimiento de SiC monocristalino
Componentes para MOCVD
Componentes de alta temperatura

Datos de propiedades/prueba

Propiedades físicas generales

Artículo	Carburo de tantalio
Densidad aparente	14.5Mg/m³
Punto de fusión	3985℃
Dureza	1550HK
Resistividad eléctrica	0.15μΩ・m
Conductividad térmica	9-22（W/m・K）
Coeciente de expansión térmica	7.1(10⁶/K)

Los valores numéricos arriba mencionados son tomados de la fuente siguiente y no son valores garantizados.
Fuente: H. Holleck: Material selection for hard coatings (Selección de material para recubrimientos duros),
J. Vac. Sci. Technol. A, Vol.4, N.o 6, noviembre/diciembre de 1986

Reactividad con diferentes materiales

Sustancia reactiva	1200℃×5h	1600℃×5h
Cloruro de hidrógeno	◎	◎
Amoníaco	◎	◎
Hidrógeno	◎	◎
Oxígeno	× (600°C o más)

* : Sin reacción, ×: Reacción signicativa

Prueba de reacción de cloruro de hidrógeno: 20Torr, HCl/H2 = 0,30/2,70L/min (10%)
Prueba de reacción de amoníaco: 20Torr, NH3/H2 = 0,5/2,0L/min (20%)
Prueba de reacción de hidrógeno: 20Torr, H2 3,0L/min
Oxígeno: agrietamiento y fragilización del revestimiento en atmósfera oxidada de baja concentración.