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表面処理材料

表面処理材料
黒鉛材料への表面処理や異種材料との複合化によって、耐摩耗性・耐食性の向上や発塵防止機能の付与など基材の付加価値を高めます。

TaC(炭化タンタル)被覆黒鉛材 EVEREDKOTE®-B

CVD法にて高純度等方性黒鉛基材に緻密なタンタルカーバイドを被覆した製品です。


SiCコート被覆材 PERMA-KOTE

半導体製品の急速な高集積化に伴い、炭素材料表面の脱ガス量、発塵量や不純物量の低減など高純度な黒鉛製品が求められ、等方性黒鉛表面にCVD法にてSiC(炭化ケイ素)を被覆したPERMA KOTE®が半導体産業分野を中心に活躍しています。


熱分解炭素被覆材 PYROGRAPH®

高純度黒鉛材料に当社独自のCVD法により熱分解炭素を被覆した製品がPYROGRAPH®です。ガス透過の低減、反応の抑制などの効果もあり、分析用、高温炉部品、各種治具分野に使用されています。


ガラス状炭素被覆材 GLASTIX KOTE®

黒鉛基材にガラス状炭素を含浸或いは被覆した材料です。ダスト防止、表面硬さの向上などに効果があり半導体分野、冶金分野の用途を中心に活躍しております