SiCコート被覆材 PERMA-KOTE®

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PERMA KOTE®は、高純度等方性黒鉛基材に、東洋炭素独自のCVD(化学的気相成長)法にて緻密な炭化ケイ素膜を被覆した製品です。

MOCVDサセプター

リフレクター(シリコン単結晶引き上げ装置用)

パンケーキ型サセプター

バレル型サセプター

PERMA KOTE®の表面SEM写真

標準は120μmですが、20～500μmの範囲で調整が可能です。

品名	化学式	濃度(%)	温度(℃)	時間(h)	質量変化(g/㎡)
フッ化水素酸	HF	47	80	144	-1.0
フッ化水素酸	HCｌ	36	沸点	144	0
塩酸	H₂SO₄	97	110	144	0
硝酸	HNO₃	61	沸点	144	0
フッ化水素酸+硝酸	HF+HNO₃ (1:1）	100	80	288	-1.0
硝酸+硫酸	HNO₃+H₂SO₄　(1:1）	100	25	288	-1.0
水酸化ナトリウム	NaOH	20	80	288	0
リン酸	H₃PO₄	100	100	192	-1.0
王水	HCｌ+HNO₃ (3:1)	100	80	192	0

反応物質	化学式	1200℃×3h	1600℃×3h
アルミニウム	Al	○	△
ホウ素	B	◎	◎
コバルト	Co	△	×
クロム	Cr	△	×
銅	Cu	○	△
鉄	Fe	×	×
モリブデン	Mo	◎	○
ニッケル	Ni	◎	×
鉛	Pb	△	×
ケイ素	Si	◎	○
スズ	Sn	◎	△
タンタル	Ta	◎	◎
チタン	Ti	◎	○
バナジウム	V	◎	×
タングステン	W	◎	○
酸化アルミニウム	Al₂O₃	◎	×
酸化ホウ素	B₂O₃	◎	◎
酸化クロム(Ⅲ)	Cr₂O₃	◎	×
酸化鉄(Ⅲ)	Fe₂O₃	×	×
酸化マグネシウム	MgO	◎	△
酸化マンガン(Ⅳ)	MnO₂	◎	×
酸化鉛(Ⅱ)	PbO	○	△
二酸化ケイ素	SiO₂	◎	△
酸化チタン(Ⅳ）	TiO₂	◎	○
酸化バナジウム(Ⅴ)	V₂O₅	◎	△
酸化ジルコニウム(Ⅳ）	ZrO₂	◎	○

※　◎...反応なし ○...わずかに反応した
　　△...反応した ×...著しく反応

被膜の不純物分析例　単位： mass ppm

※測定法：グロー放電質量分析
※上記は測定例であり、保証値ではありません。
具体的な使用法にあたってはカタログをご参照頂き、弊社営業部門に必ず相談のうえ、適材を決めて御使用下さい。