単結晶シリコン製造用
ICチップの原料となるシリコンウエハー。
その製造工程では溶解温度は約1500℃と極めて高くなりますが、耐熱性に優れ、軽量なC/Cコンポジットはウエハーの大口径化が進む中、等方性黒鉛からの切り替えが広がっています。
・薄肉化でき小さな装置で大きな直径の結晶を引き上げることが可能
・繊維の配向を調整することにより石英ルツボやシリコンの凝固時の熱膨張差に耐える設計可能
熱処理用
ホットプレス用
「はやぶさ2」の推進力となるイオンエンジンで耐久性用に優れたC/Cコンポジットが採用されています
太陽電池用シリコン製造用
原子力用
摺動材用