Mit TaC beschichteter EVEREDKOTE™-B-Graphit

EVEREDKOTE™-B ist ein Material, auf durch Aufbringen einer dünnen Schicht TaC (Tantalkarbid) auf die Oberfläche eines hochreinen Graphitsubstrats mittels des von Toyo Tanso geschützten CVD-Verfahrens (chemische Gasphasenabscheidung) hergestellt wird.

EVEREDKOTE™-B-Oberfläche und SEM-Querschnittsbild

Merkmale

Herausragende Wärmebeständigkeit
Keine Abgabe von Graphitpulver und keine Diffusion von Gas und Verunreinigungen aus dem Graphitsubstrat
Exzellente Beständigkeit gegen Reaktionen mit Ätzgasen

Anwendung

Komponenten für die Herstellung von Einkristall-SiC
Komponenten für MOCVD
Hochtemperatur-Komponenten

Eigenschaften/ Testdaten

Allgemeine physikalische Eigenschaften

Parameter	Tantalkarbid
Dichte	14,5 g/m³
Schmelzpunkt	3985 °C
Härte	1550 HK
Spezifischer elektrischer Widerstand	0,15 μΩ·m
Wärmeleitfähigkeit	9 bis 22 (W/m·K)
Wärmeausdehnungskoeffizient	7,1 (10⁶/K)

* Die oben genannten Zahlenwerte sind der nachfolgend angegebenen Quelle entnommen und stellen keine garantierten Werte dar.
Quelle: H. Holleck: Material selection for hard coatings, J. Vac. Sci. Technol. A, Vol.4, No.6, Nov/Dec 1986

Reaktivität mit verschiedenen Substanzen

Reaktive Substanz	1200 °C x 5 h	1600 °C x 5 h
Chlorwasserstoff	◎	◎
Ammoniak	◎	◎
Wasserstoff	◎	◎
Sauerstoff	× (600 °C oder mehr)

*◎: Keine Reaktion, ×: Starke Reaktion

Chlorwasserstoff-Reaktionstest: 20 Torr, HCl/H2 = 0,30/2,70 L/min (10%)
Ammoniak-Reaktionstest: 20 Torr, NH3/H2 = 0,5/2,0 L/min (20%)
Wasserstoff-Reaktionstest: 20 Torr, H2 3,0 L/min
Sauerstoff: Rissbildung und Versprödung der Beschichtung in niedrig konzentrierter oxidierter Atmosphäre.

Reaktivität mit Ammonium

Emissionsfähigkeit

Beispiel einer Verunreinigungsanalyse (Massen-ppm)

Element	Gehalt
B	< 0,01
N	< 5
Na	< 0,01
Mg	< 0,05
Al	< 0,01
Si	0,14
P	< 0,3
S	< 0,02
Cl	-0,3 Gew.-%
Ca	< 0,05
Ti	< 0,005
V	< 0,005
Cr	< 0,1
Mn	< 0,005
Fe	0,42
Co	< 0,01
Ni	0,06
Cu	< 0,05
Zn	< 0,05
As	< 10
Nb	1,1
Mo	1,6

*1 < : Nachweisgrenze
*2 Die genannten Werte sind Messbeispiele und werden nicht garantiert.