EVEREDKOTE™-B ist ein hochreines isotropes Graphitsubstrat, das mittels CVD mit dichtem Tantalkarbid beschichtet wird.
Mit dem raschen Fortschritt bei Halbleiterprodukten mit höherer Dichte ist die Nachfrage nach hochgereinigtem Graphit gestiegen, um die Gasdesorption von Kohlenstoffoberflächen sowie die Menge an Staub und Verunreinigungen zu verringern. PERMA KOTE™ wird durch Abscheidung einer SiC-Schicht auf isotropem Graphit im CVD-Verfahren hergestellt und findet breite Anwendung in der Halbleiterindustrie.
PYROGRAPH™ ist ein hochreines Graphitprodukt, auf das wir pyrolytischen Kohlenstoff in einem eigenen CVD-Verfahren aufbringen. Es hat die Wirkung, die Gaspermeation zu verringern und Reaktionen zu verhindern, weshalb es häufig für Teile von Analysegeräten, Hochtemperaturreaktoren und alle Arten von Werkzeugen verwendet wird.