MOCVD-Suszeptor
Reflektor (Anlagen für die
Herstellung von Einkristallsilizium)
Pancake-Suszeptor
Barrel-Suszeptor
Bezeichnung | Chemische Formel | Konzentration (%) | Temperatur (°C) | Zeit (h) | Masseänderung (g/m2) |
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Flusssäure | HF | 47 | 80 | 144 | -1,0 |
Salzsäure | HCl | 36 | Siedepunkt | 144 | 0 |
Schwefelsäure | H2SO4 | 97 | 110 | 144 | 0 |
Salpetersäure | HNO3 | 61 | Siedepunkt | 144 | 0 |
Flusssäure + Salpetersäure | HF+HNO3 (1:1) | 100 | 80 | 288 | -1,0 |
Salpetersäure + Schwefelsäure | HNO3+H2SO4 (1:1) | 100 | 25 | 288 | -1,0 |
Natriumhydroxid | NaOH | 20 | 80 | 288 | 0 |
Phosphorsäure | H3PO4 | 100 | 100 | 192 | -1,0 |
Königswasser | HCl+HNO3 (3:1) | 100 | 80 | 192 | 0 |
Reaktionspartner | Chemische Formel | 1200 °C x 3 h | 1600 °C x 3 h |
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Aluminium | Al | ○ | △ |
Bor | B | ◎ | ◎ |
Kobalt | Co | △ | × |
Chrom | Cr | △ | × |
Kupfer | Cu | ○ | △ |
Eisen | Fe | × | × |
Molybdän | Mo | ◎ | ○ |
Nickel | Ni | ◎ | × |
Blei | Pb | △ | × |
Silizium | Si | ◎ | ○ |
Zinn | Sn | ◎ | △ |
Tantal | Ta | ◎ | ◎ |
Titan | Ti | ◎ | ○ |
Vanadium | V | ◎ | × |
Wolfram | W | ◎ | ○ |
Aluminiumoxid | Al2O3 | ◎ | × |
Boroxid | B2O3 | ◎ | ◎ |
Chromoxid (Ⅲ) | Cr2O3 | ◎ | × |
Eisenoxid (Ⅲ) | Fe2O3 | × | × |
Magnesiumoxid | MgO | ◎ | △ |
Manganoxid (IV) | MnO2 | ◎ | × |
Bleioxid (Ⅱ) | PbO | ○ | △ |
Siliziumoxid | SiO2 | ◎ | △ |
Titanoxid (IV) | TiO2 | ◎ | ○ |
Vanadiumoxid (V) | V2O5 | ◎ | △ |
Zirkoniumoxid (IV) | ZrO2 | ◎ | ○ |
◎...Keine Reaktion ○...Leichte Reaktion
△...Reaktion ×...Starke Reaktion
Kristallstruktur |
β-SiC-Struktur (kubisches System)
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Fülldichte | 3,2 g/cm³ |
Zersetzungstemperatur | 2700 °C oder höher |
Härte | 2800 HK |
Spezifischer elektrischer Widerstand | 0,2 Ωm (mittels Spannungsabfallmethode) |
Biegefestigkeit | 170 MPa (mittels Dreipunktbiegung) |
Elastizitätsmodul | 320 GPa (mittels Durchbiegemethode) |
Element | Gehalt |
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B | 0,15 |
Na | 0,02 |
Al | 0,01 |
Cr | < 0,1 |
Fe | 0,02 |
Ni | < 0,01 |
* Messmethode: Glimmentladungs-Massenspektrometrie
* Die gennanten Werte sind Messbeispiele und werden nicht garantiert.
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